1 研磨液配管循環管路

? 研磨液整個循環管路中具有流量、流速、壓力控制

? 研磨液管路VMB配置數量至少有2個接口,需要獨立閥門控制,可連接過濾器

2 研磨液調和槽部分

? 研磨液可控制最小精度、配比精度

? 研磨液同純水可配比，且配比速度快

? 研磨液調和槽形狀圓形且底部為錐形，容量大,保證調和槽內濕度,雙槽可自動切換，具有循環攪拌功能.

? 調和槽純水洗凈噴頭可360度全方位旋轉,保證清洗效果

3 原液供應桶設計

? 依客戶需求配置原液供應桶數量

? 原液桶液位檢測功能

? 設備具備條形碼閱讀功能

4 系統設計

? 研磨液主循環管路連續循環供液方式（ASTI）

? 裝置有獨立的過濾器管路

5 重要部件指定

? 研磨液循環管路配管管徑及材質：透明PVC+PFA雙套管做配送